Kiểm tra tải lò xe đẩy và xác minh chức năng

Trong quá trình chính xác của sản xuất chất bán dẫn, lò nướng là thiết bị thiết yếu và hiệu suất của chúng ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng chip và hiệu quả sản xuất. Để đảm bảo lò nướng bán dẫn luôn ở trong tình trạng làm việc tối ưu, vui lòng xem xét cẩn thận các hướng dẫn bảo trì toàn diện sau đây.

1. Làm sạch sâu để ngăn ngừa rủi ro ô nhiễm

Làm sạch nội bộ: Sau mỗi lần sử dụng, hãy đợi lò nướng hoàn toàn và sau đó lau bên trong bằng vải không có bụi và chất tẩy rửa chuyên dụng. Sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi các tiêu chuẩn độ sạch cực kỳ cao, vì vậy đặc biệt chú ý đến các góc và kẽ hở khi làm sạch để ngăn chặn các hạt tích lũy và làm ô nhiễm chip. Đối với các vết bẩn cứng đầu, tránh chà khắc nghiệt và thay vào đó sử dụng chất tẩy nhẹ để lau nhiều lần. Rửa sạch với nước khử ion và khô hoàn toàn sau khi làm sạch.

Làm sạch bên ngoài: Thường xuyên lau nước ngoài lò bằng vải sạch, ẩm để loại bỏ bụi và vết bẩn. Tránh sử dụng chất tẩy rửa ăn mòn để ngăn ngừa thiệt hại cho lớp phủ bên ngoài và thỏa hiệp tính thẩm mỹ và tính chất bảo vệ của thiết bị. Ngoài ra, kiểm tra môi trường xung quanh của thiết bị để đảm bảo không có tích lũy bụi và duy trì thông gió tốt.

2. Kiểm tra chi tiết và bảo trì các thành phần chính

Hệ thống sưởi ấm: Kiểm tra phần tử sưởi ấm hàng tuần cho các dấu hiệu oxy hóa và thiệt hại. Nếu bạn nhận thấy bất kỳ đốm đen hoặc vết nứt nào trên bề mặt của ống sưởi, hãy thay thế nó ngay lập tức để ngăn chặn hệ thống sưởi không đồng đều có thể ảnh hưởng đến việc sấy chip. Ngoài ra, hãy kiểm tra các thiết bị đầu cuối hệ thống sưởi ấm cho các kết nối lỏng lẻo để đảm bảo các kết nối điện ổn định và ngăn ngừa sự cố hoặc các mối nguy hiểm an toàn do tiếp xúc kém.

Quạt và ống dẫn khí: Thường xuyên kiểm tra hoạt động của người hâm mộ, lắng nghe mọi tiếng động bất thường và kiểm tra lưỡi của quạt để biến dạng hoặc tích lũy bụi. Tích lũy bụi có thể ảnh hưởng đến hiệu quả lưu thông không khí nóng và dẫn đến nhiệt độ không đồng đều trong buồng. Cẩn thận làm sạch lưỡi và bên trong quạt bằng không khí nén. Ngoài ra, hãy kiểm tra ống dẫn khí để tìm dòng chảy không bị cản trở và loại bỏ bất kỳ mảnh vụn nào để đảm bảo lưu thông không khí nóng và hiệu quả trong buồng.

Dải niêm phong: Lò bán dẫn yêu cầu niêm phong nghiêm ngặt. Kiểm tra các dải niêm phong cửa hàng ngày để lão hóa, biến dạng hoặc hư hỏng. Các vết nứt hoặc mất độ đàn hồi có thể dẫn đến nhiệt độ và độ ẩm không ổn định trong buồng và thậm chí có thể giới thiệu các chất gây ô nhiễm. Thay thế các dải kịp thời để đảm bảo một con dấu tốt.

Iii. Hiệu chỉnh chính xác để đảm bảo các tham số ổn định

Hiệu chuẩn nhiệt độ và độ ẩm: Sử dụng cảm biến nhiệt độ và độ ẩm có độ chính xác cao để hiệu chỉnh nhiệt độ và độ ẩm bên trong của lò. Sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác nhiệt độ và độ ẩm cực cao, và thậm chí độ lệch nhỏ nhất cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của chip. Trong quá trình hiệu chuẩn, nếu các giá trị nhiệt độ và độ ẩm hiển thị lệch khỏi các giá trị thực tế ngoài phạm vi cho phép, các tham số điều khiển độ ẩm và nhiệt độ của lò phải được điều chỉnh kịp thời và dữ liệu hiệu chuẩn phải được ghi lại để phân tích và truy xuất nguồn gốc tiếp theo.

Kiểm tra hệ thống điều khiển: Thường xuyên kiểm tra hệ thống điều khiển của lò, bao gồm các thành phần như bộ điều khiển nhiệt độ và bộ hẹn giờ, để hoạt động thích hợp. Kiểm tra độ nhạy và độ chính xác của từng nút điều khiển và hiển thị để đảm bảo người vận hành có thể đặt chính xác và giám sát các tham số vận hành lò nướng. Nếu bất kỳ bất thường được phát hiện, hãy liên hệ với các kỹ thuật viên chuyên nghiệp ngay lập tức để sửa chữa và gỡ lỗi.

Iv. Tiêu chuẩn ngừng hoạt động và khởi động lại bảo trì

Ngừng hoạt động lâu dài: Nếu lò bán dẫn cần phải ngừng hoạt động trong một thời gian dài, hãy làm sạch hoàn toàn và làm khô nội thất và ngắt kết nối nguồn điện. Để ngăn bụi và độ ẩm xâm nhập, đậy nắp lò bằng vỏ bụi. Định kỳ (hàng tuần được khuyến nghị) cung cấp năng lượng cho nó trong 1-2 giờ để duy trì hiệu suất ổn định của các thành phần điện bên trong và ngăn ngừa sự cố do không hoạt động lâu dài.

Đề xuất: Trước khi giới thiệu một lò nướng đã ngừng hoạt động trong một thời gian dài, kiểm tra kỹ lưỡng tất cả các thành phần. Điều này bao gồm làm sạch nội thất một lần nữa, kiểm tra các kết nối điện, kiểm tra hệ thống sưởi và hoạt động của quạt, v.v. Chạy thiết bị không tải trong một khoảng thời gian để quan sát xem liệu kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm có bình thường hay không. Chỉ sau khi xác nhận rằng không có bất thường, nó mới có thể được đưa vào sử dụng.