Đặc tính kỹ thuật của mục tiêu phún xạ magnetron hai cửa để mạ bạc chân không

Đặc tính kỹ thuật của mục tiêu phún xạ magnetron hai cửa để mạ bạc chân không

 

 

(1) Thân buồng chân không độc lập được kết hợp thành một đường thẳng, vị trí đa mục tiêu, hiệu quả cao, công suất lớn, có thể chọn lớp phủ đồng thời hai mặt hoặc một mặt

 

(2) Van cổng chân không độc lập, dự án cách ly chân không đáng tin cậy hơn

 

(3) Hệ thống bơm chân không bơm phân tử, tốc độ bơm ổn định, sạch và không dầu

 

(4) Có thể thêm thiết kế hệ thống của buồng chân không và lớp phủ màng nhiều lớp có thể được thực hiện sau khi mở rộng.

 

(5) Thiết kế cấu trúc mục tiêu được tối ưu hóa, tỷ lệ sử dụng mục tiêu cao

 

(6) Quá trình lắng đọng phún xạ ổn định và tốc độ cao

 

(7) Áp dụng máy tính công nghiệp, hệ thống điều khiển PLC để thực hiện vận hành tự động, giao diện đối thoại giữa người và máy trên màn hình cảm ứng, menu đa chức năng

 

(8) Hệ thống điều khiển máy đo chân không composite chính xác với độ chính xác đo cao để đảm bảo điều khiển chính xác hệ thống chân không

 

(9) Hệ thống kiểm soát lưu lượng khí có độ chính xác cao, độ chính xác đo cao và tốc độ phản hồi nhanh, đảm bảo không khí làm việc mục tiêu ổn định và có thể kiểm soát, hoạt động mục tiêu ổn định, lắng đọng màng ổn định và độ dày màng ổn định

 

(10) Thiết bị có mức độ tự động hóa cao, thực hiện vận hành không người lái và phôi có thể tự động chạy trở lại trạm được chỉ định trước và sau khi phủ

Màng oxit thiếc indi bạc chân không

 

 

 

Màng oxit thiếc indium (Indium Tin Oxide, gọi tắt là ITO) là một vật liệu dẫn điện trong suốt được sử dụng rộng rãi, đã được sử dụng rộng rãi trong kính chắn gió xe cơ giới, thiết bị hiển thị tinh thể lỏng, pin mặt trời, ảnh ba chiều và TV màu tinh thể lỏng, v.v. lĩnh vực ứng dụng là màn hình điốt phát sáng hữu cơ (Điốt phát sáng hữu cơ, viết tắt là OLED). Từ quan điểm ứng dụng, thành phần của màng ITO thường được yêu cầu là In2O3 và SnO2, và trong màng càng ít hợp chất indi và thiếc có hóa trị thấp thì càng tốt. Có nhiều phương pháp chuẩn bị màng mỏng ITO như phun, bay hơi, phún xạ tần số vô tuyến và phún xạ magnetron.

Dây chuyền sản xuất lớp phủ liên tục ngang ITO/ISI là thiết bị sản xuất liên tục phún xạ magnetron phẳng quy mô lớn. Nó áp dụng thiết kế mô-đun, thuận tiện cho việc mở rộng và nâng cấp trong tương lai. Nó được trang bị nhiều bộ cực âm magnetron quy mô lớn, có thể được áp dụng để kết hợp các cấu trúc màng khác nhau; Điều khiển hoàn toàn tự động, hệ thống truyền động có độ ổn định cao, có thể kết nối liền mạch với bộ điều khiển để đạt được hoạt động dây chuyền lắp ráp liên tục và ổn định; nhịp độ sản xuất nhanh và sản lượng lớn.

www.superbheater.com