Quá trình oxy hóa bề mặt của thanh cacbua silic được sử dụng để tạo ra màng mỏng silicon dioxide

Trong quá trình sử dụng, bề mặt của thanh silicon carbide bị oxy hóa để tạo thành màng silicon dioxide. Sử dụng kéo dài làm tăng màng silicon dioxide và giá trị điện trở của thanh silicon carbide. Màng silica trải qua quá trình giãn nở và co lại bất thường ở gần điểm kết tinh tới hạn (270 độ). Do sự dao động nhiệt độ liên tục trong quá trình sử dụng lò nung gián đoạn, màng silicon dioxide bị phá vỡ nhiều lần để đẩy nhanh quá trình oxy hóa. Do đó, khi nhiệt độ của lò mất điện giảm xuống nhiệt độ phòng, điện trở thường tăng mạnh. Nếu các giá trị điện trở của các thanh cacbua silic khác nhau, tải trọng của các thanh cacbua silic có điện trở cao sẽ tập trung hơn khi mắc nối tiếp, điều này có thể dễ dàng dẫn đến điện trở của một thanh cacbua silic nhất định tăng nhanh và tuổi thọ ngắn hơn. Các thanh cacbua silic thường được sử dụng kết hợp với hệ thống dây nối tiếp và song song. Nên sử dụng hai kết nối nối tiếp thành một nhóm và sau đó là nhiều kết nối song song. Đặc biệt khi nhiệt độ bên trong lò vượt quá 1350 độ, nó phải được kết nối song song. Nên sử dụng hệ thống dây tam giác hở cho hệ thống dây ba pha.