Độ tinh khiết của sự lắng đọng màng mỏng của ống sưởi điện mạ điện chân không

Độ tinh khiết của sự lắng đọng màng mỏng của ống sưởi điện mạ điện chân không

 

độ tinh khiết của nguồn bay hơi;

 

Có thể nhiễm bẩn từ các thiết bị gia nhiệt và chén nung;

 

Khí dư trong hệ thống chân không.

Các yếu tố ảnh hưởng đến sự bay hơi chân không của ống sưởi điện mạ điện chân không

 

tốc độ bay hơi của chất

 

áp suất hơi của phần tử

 

Tính đồng nhất của lắng đọng màng mỏng

 

Độ tinh khiết của lắng đọng màng mỏng

Phân loại nguồn bốc hơi cho ống sưởi điện mạ điện chân không

 

Điện trở sưởi ấm bay hơi

 

E-beam gia nhiệt bay hơi

 

Bay hơi sưởi hồ quang

 

laser sưởi ấm bay hơi

Quá trình lắng đọng bay hơi chân không của ống sưởi điện mạ điện chân không bao gồm ba bước:

 

Vật liệu nguồn bay hơi được chuyển từ pha ngưng tụ sang pha khí;

 

Vận chuyển các hạt bay hơi giữa nguồn bay hơi và chất nền;

 

Sau khi các hạt bay hơi đến bề mặt, chúng ngưng tụ, tạo mầm, phát triển và tạo thành màng.

Ion Beam và Ion Hỗ trợ cho ống sưởi điện mạ điện chân không

 

Hai phương pháp lắng đọng hơi vật lý cơ bản nhất là bay hơi và phún xạ, cũng như chùm ion và phương pháp hỗ trợ ion.

 

Quá trình bay hơi có một số ưu điểm khác biệt so với phương pháp phún xạ, bao gồm tốc độ lắng đọng cao hơn, mức độ chân không tương đối cao hơn và chất lượng phim cao hơn.

 

Phương pháp phún xạ cũng có một số ưu điểm của riêng nó, bao gồm dễ dàng kiểm soát thành phần hóa học khi lắng đọng màng mỏng hợp kim nhiều thành phần và độ bám dính của lớp lắng đọng với chất nền tốt hơn.

Ba giai đoạn của quá trình lắng đọng hơi vật lý của ống sưởi điện mạ điện chân không:

 

phát ra các hạt từ nguyên liệu thô;

 

vận chuyển hạt đến chất nền;

 

Các hạt ngưng tụ, tạo mầm, phát triển và tạo thành màng trên đế.

Đặc điểm phương pháp chuẩn bị màng ống gia nhiệt mạ điện chân không

 

Nên sử dụng vật liệu rắn hoặc nóng chảy làm vật liệu gốc cho quá trình lắng đọng.

 

Nguyên liệu nguồn trải qua một quá trình vật lý vào pha khí.

 

Một môi trường áp suất khí tương đối thấp là cần thiết.

 

Không có phản ứng hóa học xảy ra trong pha khí và trên bề mặt chất nền.

www.superbheater.com