Các thông số điều chỉnh phún xạ Magnetron của máy phủ chân không
Để lại lời nhắn
Các thông số điều chỉnh phún xạ Magnetron của máy phủ chân không
Ứng dụng rộng rãi của thiết bị phủ phún xạ magnetron được xác định bởi các đặc tính của công nghệ, có thể tóm tắt như sau: các vật liệu khác nhau có thể được chuẩn bị thành mục tiêu có thể được sử dụng làm vật liệu màng mỏng, bao gồm các kim loại khác nhau, chất bán dẫn, vật liệu vật liệu sắt từ, cũng như các oxit cách điện, gốm sứ, polyme, v.v.
Ngoài ra, các thông số điều chỉnh phún xạ magnetron có thể điều chỉnh hiệu suất của màng, đặc biệt thích hợp cho lớp phủ diện tích lớn và diện tích lắng đọng đồng đều hơn.
Trở kháng plasma phún xạ từ của máy hút chân không thấp
Thiết bị phủ phún xạ magnetron có thể chuẩn bị nhiều loại màng mỏng, màng mỏng có chức năng khác nhau, đồng thời có thể lắng đọng hỗn hợp và màng mỏng phức hợp có thành phần hỗn hợp; trở kháng plasma phún xạ magnetron thấp nên dòng phóng điện cao, ở điện áp khoảng 500V. Dòng phóng điện có thể từ 1A đến 100A (tùy theo chiều dài cực âm); tốc độ tạo màng cao và tốc độ lắng đọng có thể thay đổi từ 1nm/s đến 10nm/s; tính nhất quán của sự hình thành màng là tốt, ngay cả ở cực âm dài vài mét. Trong trường hợp phún xạ, tính nhất quán của lớp màng vẫn có thể được đảm bảo; nhiệt độ tăng của chất nền thấp; năng lượng của các hạt phún xạ là khoảng hàng chục electron volt, sự hình thành màng tương đối dày đặc và đế màng được liên kết tốt.
Nhiệt độ gia nhiệt của thiết bị máy sơn chân không quá cao:
Do công suất của máy sưởi bơm khuếch tán không phù hợp với công suất định mức, quá cao dẫn đến sinh ra một lượng hơi lớn, có thể gây hồi dầu, có thể giải quyết bằng cách thay dây lò điện.
Kênh nước làm mát của máy sơn chân không không trơn tru hoặc áp lực nước không đủ:
Kết quả là khả năng làm mát bị giảm, phần trên của bơm khuếch tán trở nên nóng và hơi dầu không thể hóa lỏng tốt. Giải pháp là nối đường ống vào của bơm khuếch tán với nguồn khí 4mpa để thổi cặn ra, đồng thời đường ống ra cũng được thổi với tốc độ 4mpa. Nếu cặn rất dày và chắc, có thể cho axit clohydric loãng vào. Hoặc thay thế bơm khuếch tán.
www.superbheater.com
