Trang chủ - Hiểu biết - Thông tin chi tiết

Hoàn thiện và tắt lò đơn tinh thể:

Hoàn thiện và tắt lò đơn tinh thể:

 

Khi tinh thể đơn được kéo về phía đuôi, điểm kết thúc được bắt đầu. Khi đường kính của đơn tinh thể đạt tới Φ10-80mm, vùng nóng chảy sẽ bị kéo ra xa nhau. Lúc này, trục dưới tiếp tục di chuyển xuống dưới và trục trên thay đổi chuyển động lên trên, trong khi công suất vẫn ở mức 40±10%, làm nguội tinh thể từ từ. Thiết bị tăng trưởng đơn tinh thể Czochralski thuộc lĩnh vực kỹ thuật thiết bị tăng trưởng bán dẫn. Nó bao gồm một hệ thống trợ lực thủy lực để điều chỉnh thanh nồi nấu kim loại; trong bộ điều khiển gia nhiệt, máy biến áp cân bằng ba pha, tụ lọc, cuộn kháng và điện trở được kết hợp và kết nối song song với nguồn sóng hài; nó cũng có một thiết bị nạp khí có tần số thay đổi. Sáng chế hiện tại khắc phục sự bất lực của thiết bị truyền động nâng trục nồi nấu kim loại hiện có để đảm bảo hiệu quả sự ổn định của kiểm soát sản xuất và độ chính xác không đủ, khắc phục sự bất lực của bộ điều khiển gia nhiệt hiện có trong việc loại bỏ sóng hài và cũng khắc phục được truyền động nâng trục nồi nấu kim loại hiện có. Thiết bị không thể đảm bảo hiệu quả sự ổn định của kiểm soát sản xuất và độ chính xác là không đủ.

Lò nung đơn tinh thể xoay, giữ và nhả kẹp:

 

Khi đường kính của vai mở rộng khác với đường kính giữ tinh thể đơn 3-20mm, tốc độ mở rộng của vai phải chậm lại và phải xoay vai cho đến khi đạt được đường kính yêu cầu. Tinh thể đơn được duy trì. Đường kính đồng hồ đo được duy trì ở mức 75 mm-220mm và tinh thể đơn phát triển. Tốc độ là 1 mm/phút-5mm/phút. Trong quá trình mở rộng vai, khi khoảng cách giữa các chân của giá đỡ tinh thể đơn trên vai của tinh thể đơn nhỏ hơn 2 mm, giá đỡ sẽ được nhả ra và tinh thể đơn sẽ được kẹp lại;

 

Mở rộng vai của lò đơn tinh thể và nạp nitơ:

 

Sau khi cổ phát triển, mở rộng vai, từ từ giảm tốc độ thấp hơn xuống 3 ± 2 mm/phút, đồng thời khi đường kính của vai mở rộng tăng lên, tiếp tục giảm và quay xuống 8 ± 4 vòng / phút và giảm từ từ và quay lên tới 1± 0,5 vòng/phút; Để ngăn chặn quá trình ion hóa ở áp suất cao, một tỷ lệ nitơ nhất định được lấp đầy trong bầu không khí bảo vệ argon và tỷ lệ trộn của nitơ là 0,01% đến 5% so với argon;

www.superbheater.comwwwsuperbheatercom

Gửi yêu cầu

Bạn cũng có thể thích