Khái niệm về tính đồng nhất của màng ống sưởi điện:

Khái niệm về tính đồng nhất của màng ống sưởi điện:

Quá trình lắng đọng chân không rất phức tạp. Do các nguyên tắc phủ khác nhau, nó có thể được chia thành nhiều loại. Nó có một tên thống nhất chỉ vì nó cần độ chân không cao. Do đó, đối với lắng đọng chân không với các nguyên tắc khác nhau, các yếu tố ảnh hưởng đến độ đồng nhất cũng khác nhau. Và bản thân khái niệm độ đồng nhất cũng mang những ý nghĩa khác nhau tùy thuộc vào quy mô lớp phủ và thành phần màng.

1. Độ đồng đều về độ dày còn có thể hiểu là độ nhám. Từ góc độ của thang đo màng quang học (nghĩa là 1/10 bước sóng dưới dạng đơn vị, khoảng 100A), tính đồng nhất của sự lắng đọng chân không là khá tốt và độ nhám có thể dễ dàng kiểm soát trong phạm vi 1/10 bước sóng ánh sáng khả kiến. nghĩa là không có trở ngại lắng đọng chân không đối với đặc tính quang học của màng. Tuy nhiên, nếu đề cập đến tính đồng nhất trên thang lớp nguyên tử, nghĩa là đạt được độ phẳng bề mặt 10A hoặc thậm chí 1A, thì đó là nội dung kỹ thuật chính và nút thắt kỹ thuật trong quá trình lắng đọng chân không. Các yếu tố kiểm soát cụ thể sẽ được giải thích chi tiết theo các lớp phủ khác nhau.

2. Tính đồng nhất của thành phần hóa học: nghĩa là trong màng, thành phần nguyên tử của hợp chất sẽ dễ tạo ra các đặc tính không đồng nhất do kích thước nhỏ. Nếu quy trình phủ màng SiTiO3 không khoa học thì thành phần bề mặt thực tế không phải là SiTiO3 mà có thể là các ví dụ khác. Màng tráng không phải là thành phần hóa học của màng mong muốn, đó là nội dung kỹ thuật của sự lắng đọng chân không.

3. Tính đồng nhất của trật tự mạng tinh thể: Điều này xác định rằng màng là đơn tinh thể, đa tinh thể và vô định hình, đây là một vấn đề nóng trong công nghệ lắng đọng chân không. Xem bên dưới để biết chi tiết.

Có hai loại chính: lớp phủ lắng đọng bay hơi và lớp phủ lắng đọng phún xạ, bao gồm nhiều loại, bao gồm bay hơi ion chân không, phún xạ Magnetron, epitaxy chùm phân tử MBE, phương pháp sol gel, v.v.

www.superbheater.com