Một quy trình làm sạch tốt cho mạ bạc chân không có thể cải thiện áp suất cuối cùng của thiết bị

Một quy trình làm sạch tốt cho mạ bạc chân không có thể cải thiện áp suất cuối cùng của thiết bị

During the use of vacuum coating equipment, parts will also be contaminated. This contamination is related to the conditions of use and the vacuum pump. For example: the inner wall of the vacuum coating machine will be polluted by the evaporation material; the mechanical pump oil of the vacuum pumping unit of the vacuum coating equipment is the source of pollution, and the equipment will form an obvious oil film inside the equipment after long-term operation. These contaminations will also affect the performance of the equipment and should be removed at any time. Especially the ultra-high vacuum multi-target magnetron + ion beam combined sputtering equipment, its ultimate pressure is 6.6x10-Pa, and the equipped vacuum pumping group is an ultra-high vacuum system. In ultra-high vacuum systems, the cleaning process is even more important. A good cleaning process can reduce material outgassing rates by orders of magnitude. For example, after the stainless steel is exposed to the atmosphere for a long time, without any treatment, the gas output rate after pumping for 1 hour is 2.7x10-Pa-L/s m2), and it can be reduced to 1.3x10-Pa-L/ after pumping for 4 hours after removing oil stains. Csm). After baking at 250℃ for 15h, the outgas rate is further reduced to 1.3x10-Pa-L/(sm>. Một quy trình làm sạch tốt có thể làm tăng áp suất cuối cùng của thiết bị.

Mạ bạc chân không gồm nhiều bộ phận khác nhau

Thiết bị phủ chân không bao gồm nhiều bộ phận khác nhau, tất cả đều được hoàn thiện bằng các quá trình cơ học khác nhau như tiện, phay, bào, mài, doa, hàn, v.v. Bằng cách này, bề mặt của các bộ phận chắc chắn sẽ bị bám nhiều chất gây ô nhiễm. chẳng hạn như xử lý dầu mỡ, vết mồ hôi, bột đánh bóng, chất trợ dung, chip kim loại, dầu mỡ, v.v. Những chất ô nhiễm này dễ bay hơi trong chân không và ảnh hưởng đến áp suất cuối cùng cũng như độ ổn định hiệu suất của thiết bị phủ chân không. Ngoài ra, các chất ô nhiễm hấp thụ một lượng lớn khí dưới áp suất khí quyển và trong môi trường chân không, các khí này cũng được giải phóng, tạo thành yếu tố hạn chế áp suất cuối cùng của thiết bị phủ chân không. Vì lý do này, chất bẩn phải được loại bỏ trước khi lắp ráp các bộ phận.

www.superbheater.com